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ドライ酸化膜中の界面欠陥の電気特性とその熱アニーリング効果吉川 正人; 石田 夕起*; 直本 保*; 土方 泰斗*; 伊藤 久義; 奥村 元*; 高橋 徹夫*; 土田 秀一*; 吉田 貞史*
電子情報通信学会論文誌, C, 86(4), p.426 - 433, 2003/04
1200ドライ酸化やそれに引き続いて行われる熱アニーリングが、酸化膜と4積層周期六方晶炭化ケイ素(4H-SiC)基板の界面に与える影響を調べた。n型及びp型4H-SiC基板を1200の乾燥酸素雰囲気中で3時間酸化して50nmの酸化膜を作製した後、酸化膜を500から950のアルゴン雰囲気中で3時間熱アニーリングした。その酸化膜を用いて金属/酸化膜/半導体(MOS)構造を形成してC-V特性を測定し、酸化膜と4H-SiC界面の電気特性に及ぼす熱アニーリング効果を調べた。1200ドライ酸化膜を用いて形成した4H-SiC MOS構造のC-V特性は、電圧軸に沿って正方向へ大きくシフトした。界面には負電荷が蓄積していた。600で3時間の熱アニーリングを行うとC-V特性が負方向へシフトしはじめ、9503時間の熱アニーリングで電圧シフトが消失した。一方、p型4H-SiC MOS構造のC-V特性を調べると、n型とは反対に電圧軸に沿って負方向へ大きくシフトした。界面には正電荷が蓄積していた。n型とp型のシフト方向の違いと界面欠陥の荷電状態の関連性について調べ、界面欠陥の熱アニーリングのメカニズムを議論した。
吉田 浩*; 青木 尊之*; 内海 隆行*
電子情報通信学会論文誌, A, 86(3), p.223 - 231, 2003/03
固体ターゲットへのレーザー照射に伴うプラズマ流体運動を数値的に解析するためには、高精度かつ安定的な数値解析手法の開発が必要である。プラズマ流体運動の連続体モデルは双曲型偏微分方程式で表され、この数値解法として局所補間微分オペレーター法(IDO)が提案されてきた。従来のIDO法では従属変数の時間積分をテーラー展開で行い時間微分を空間微分で置き換える方法をとってきた。しかし、この方法では補間関数の次数に時間精度が制限されるだけでなく多次元問題では計算の煩雑さから補間関数の持つ空間精度が十分に出ないということがおこる。また、数値安定性の面でもCFL数による安定領域は狭い。そこで、本論文では、空間・時間精度の確保を図るためにルンゲクッタ法による時間積分を適用することを提案する。結果として、多次元の場合についてルンゲクッタ法はテーラー展開より高い精度,安定性を得ることができ、有効性を確認した。
線照射効果とそのメカニズム吉川 正人; 大島 武; 伊藤 久義; 梨山 勇; 高橋 芳宏*; 大西 一功*; 奥村 元*; 吉田 貞史*
電子情報通信学会論文誌,C-II, 81(1), p.140 - 150, 1998/01
宇宙環境で使用される半導体素子には、高温での素子動作ばかりでなく強い耐放射線性が要求される。今回我々は、広いバンドギャップを持つ6H-SiCを用いて作製したMOS構造素子の線照射効果を調べた。また酸化膜中の電荷分布の照射による変化も併せて調べ、線照射効果のメカニズムを追求した。その結果、酸化膜中に存在する正及び負の電荷が、線照射により増大するが、その量は酸化膜を作製する6H-SiCの面方位に強く依存することが分かった。線照射した6H-SiC MOS構造のC-V特性の横方向シフトは、酸化膜中の正と負の電荷の発生量と発生位置に依存するため、Si MOS構造のような照射による一定の規則性は存在しないことがわかった。
藤井 実; 松山 泰男*
電子情報通信学会論文誌,D-2, J79-D-2(5), p.775 - 784, 1996/05
両眼ステレオ視は、受動的な方法によって、色と距離の2つの情報を同時に得ることができるため、将来の移動ロボットの共通な眼として期待されている。しかし、実際には左右画像間での対応点探索という困難な問題を解決する必要があり、移動ロボットの障害物検知において重要である「左右画像上で対応点の順序が入れ替わる順序逆転問題」については、これまで比較的研究が進展していない。本論文では、従来手法の中で大局的な対応付けを可能にする動的計画法を適用した場合に生ずる「対応点の順序は入れ替わらない」という仮定を保持しつつ、対応点の順序が入れ替わる問題を解くために、対応点探索に4つの状態を設け、動的計画法による探索を2段に分けて行う方法を提案する。さらに、対応点の順序が入れ替わる問題にこの方法を適用し、本方法の有効性を示している。
大森 憲一郎
電子情報通信学会論文誌,D, 109(10), p.709 - 711, 1989/10
JT-60トロイダル磁場コイル電源は、JT-60本体のトロイダル磁場コイルに8GJものエネルギーをパルス的に供給するため、系統電力系と電動発電機電力系とで構成されている。このシステムの中でも発電機は、所要のエネルギーを回転エネルギーとして蓄え、コイル通電時に電気エネルギーとして放出する、すなわち、エネルギー蓄積装置としての役目を果たしてるが、4GJの放出エネルギーを確保するために、直径6,600mm、厚さ2,400mm、総重量約650tonの巨大なフライホールによってはずみ車効果(GD
)を大きくしている。運転開始以来、その積算運転時間は5,000時間にも及ぶが良好に運転されており、また入力エネルギーに帯する出力エネルギーの比、すなわち、運転効率は約60%である。JT-60電源には、この発電機を含めて合計3基の発電機が設置されているが、今年11月以降約1年間かけて順次分解点検を実施する予定である。
